邻近效应校正

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2页发布时间: 2024年01月07日光学邻近效应是指由于光线散射和反射,使得印刷品或显示器的像素周围区域发生颜色变化的现象。这种现象在非晶硅TFT-LCD中特别明显,因为它具有高达1%的像素透射率,导致相邻像素...百度文库

2025年02月15日

2024年6月25日光学邻近效应校正(optical proximity correction)是通过采用对邻近区域修正过的图形来提高图像的质量,可用于在一定程度上补偿衍射效应。例如,若接近分辨率极限的方形接触孔...知乎

2025年02月15日

2019年8月2日光学邻近效应的校正方法光学邻近效应的校正是通过对Mask的修正,最大可能的解决这些Photo后的图形Variation,各大厂商使用计算机辅助软件工具进行。与OPC一起使用的方法还有移...芯东西

2025年02月15日

2023年9月1日 01在开始光学邻近效应修正之前,首先需要通过试验数据获得精确的光刻模型,可以对给定掩模版预测出曝光后图形。 02接下来将待修正图形分割成一系列短栅格,每条短栅格可以在修正...电子发烧友

2025年02月15日

2021年10月7日 2. Optical Proximity Correction (OPC)光学邻近效应校正通过移动掩模版上图形的边缘或添加额外的多边形来弥补衍射造成的图像错误。一般来说,当晶圆上的线宽小于曝光波长时,...知乎

2025年02月15日

2023年12月25日光学邻近效应校正(OpticalProximityCorrection,简称OPC)是集成电路制造过程中用于提高光刻分辨率的关键技术。随着工艺节点的不断缩小,光刻面临的光学邻近效应问题日益严重,...人人文库

2025年02月15日